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ミュオンを利用した半導体の制作
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最先端情報 ミュオンを利用した半導体の制作
半導体とミュオンの融合領域に関する最新の研究動向と応用について解説。ミュオンを用いた半導体材料の分析手法、不純物解析、デバイスの信頼性評価など、基礎研究から実用化までの展望を詳しく紹介。J-PARCでの実験成果や次世代デバイス開発への貢献も網羅的に解説している。
